浅谈天线效应

浅谈天线效应

物理验证PV 2年前 (2017-11-03) 浏览: 274 评论: 0

在芯片生产过程中,暴露的金属线或者多晶硅(polysilicon)等导体,就象是一根根天线,会收集电荷(如等离子刻蚀产生的带电粒子)导致电位升高。天线越长,收集的电荷也就越多,电压就越高。若这片导体碰巧只接了MOS 的栅,那么高电压就可能把薄栅氧化层击穿,使电路失效,这种现象我们称之为“天线效应”。随着工艺技术的发展,栅的尺寸越来越小,金属的层数越来越多,发生天线效应的可能性就越大。[1] 中文名

切换注册

登录

忘记密码 ?

您也可以使用第三方帐号快捷登录

切换登录

注册

扫一扫二维码分享